程新利

作者:时间:2022-08-26点击数:

教师简介


122C2

 

程新利

 

出生年月

1976.10

最高学历、学位

博士研究生、博士

 

副教授

 

副院长

电子邮箱

xlcheng@usts.edu.cn

一、基本情况:


1994.09 - 1998.06 苏州大学,物理教育专业,本科;

1998.09 - 2001.06 苏州大学,凝聚态物理学,硕士,导师:许裕生教授;

2001.092005.03 中科院上海微系统与信息技术研究所,微电子学与固体电子学,博士,

                  导师:邹世昌院士,张峰研究员

2005.03– 至今   苏州科技大学,副教授

2012.022012.11 德国于利希研究中心,访问学者,合作导师:赵清太教授



二、主要研究领域及成果:

主要从事半导体薄膜材料与器件研究工作,涉及力敏传感器、温差电器件等薄膜材料制备与性能分析等。  


三、代表性科研成果:

1.Xinli Cheng, Hong Liu, Feng Zhang. Relaxed SiGe-on-insulator with high Ge fraction obtained by oxidation of SiGe/Si-on-insulator with hydrogen ions implantation. Applied Surface Science. 2007.253:4472-4476.

2. Xinli Cheng, Zhijun Chen, Yongjin Wang, Bo Jin,Feng Zhang, Shichang Zou. Fabrication of SGOI material by oxidation of an epitaxial SiGe layer on an SOI wafer with H ions implantation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2005,234: 243-248

3. Xinli Cheng, Zhilang Lin, Yongjin Wang, HaiboXiao,Feng Zhang, Shichang Zou, Hydrogen annealing effects on epitaxy of SOI wafer, Materials Letters, 2005,59: 361-365.

4.程新利,唐运海,沈娇艳,王冰,秦长发,潘涛等.微型动态渗透水压力传感器,2016.6授权,ZL201310653653.5

5.程新利,唐运海,沈娇艳,王冰,秦长发,潘涛等.压力传感器敏感元件的制造工艺,2016.5授权ZL 201310613099.8

6.刘宏,刘伟祎,程新利,章于道.一种电子皮肤生物燃料电池的制备方法及生物燃料电池,2021.7授权,ZL202011117959.5.

7.王冰,姜君蕾,毛超民,程新利,郭鹏等.2017年中国仪器仪表学会科学技术奖三等奖:用于建筑物健康诊断风载荷压力传感器预警系统.

8.王文襄,王冰,陈立国,赵玉龙,赵立波,程新利,毛超民.2015年江苏省科学技术奖三等奖:特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化.

9.王文襄,王冰,毛超民,潘涛,程新利,孙晋玲.2013年江苏省科学技术奖三等奖:MEMS技术半导体硅压阻高频、微型、高温系列动态力敏传感器.



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